• 微观装置的制造及其处理技术
    • 一种带有硅通孔的硅MEMS微结构的加工工艺的制作方法
      本发明属于微机电系统(mems)制造,特别涉及一种带有硅通孔的硅mems微结构的加工工艺。mems器件是近二十年来发展起来的一种新型器件,以其成本低、体积小、功耗低、可大规模生产等特点在国防、惯性导航、地震探测、工业、医疗、自动化以及消费电子等众多领域中获得了广泛的应用。mems器...
    • 一种掩膜刻蚀制备亚波长周期性阵列的方法与流程
      本发明属于微纳米材料光学领域,具体涉及一种玻璃表面修饰掩膜进行刻蚀亚波长周期性阵列的方法。显示产品在当代信息化社会已是不可或缺的重要一环,作为信息的输出显示工具,显示器件参与着人眼和机器交互的重要环节。显示器件的表面反光是一直光学玻璃普遍存在的问题,表面反光是由于空气折射率与玻璃折射率之间...
    • 一种大尺寸光学陀螺楔形腔及其制备方法和应用与流程
      本发明属于光学陀螺的si基光电子器件制备,更具体地,涉及一种大尺寸光学陀螺楔形腔及其制备方法和应用。陀螺仪作为测量载体角加速度和姿态的重要传感器件,是惯性导航系统的重要核心部件,被广泛的应用于航天航海、制导控制、隧道施工和汽车制造等各种领域,其发展对工业领域重大科技计划的研究具有重...
    • MEMS异形芯片的切割方法与流程
      本发明属于mems微细加工,尤其涉及一种mems(micro-electro-mechanicalsystem,微机电系统)异形芯片的切割方法。mems芯片的分离通常采用划片工艺实现。目前在mems晶圆划片领域,主要有砂轮划片和激光划片。其中,砂轮切割划片是目前应用最为广泛的切割技...
    • MEMS传感器的制作方法
      本发明涉及半导体器件,尤其涉及一种mems传感器。气密性封装是mems领域常见的封装需求形式。mems器件如加速度传感器、压力传感器、角速度传感器等内部有可动部件,需要为可动部件提供气密性空腔,以保证可动部件在空腔内部有较小的阻尼和静摩擦力。mems器件如非制冷红外焦平面探测器内部...
    • MEMS传感器及其制作方法与流程
      本发明涉及半导体器件,尤其涉及一种mems传感器及其制作方法。气密性封装是mems领域常见的封装需求形式。mems器件如加速度传感器、压力传感器、角速度传感器等内部有可动部件,需要为可动部件提供气密性空腔,以保证可动部件在空腔内部有较小的阻尼和静摩擦力。mems器件如非制冷红外焦平...
    • 超声换能器腔室中的吸气材料的制备技术以及结构的制作方法
      相关申请的交叉引用本申请根据35u.s.c.§119(e)要求于2018年9月28日提交的代理人案卷号为b1348.70103us00并且题为“fabricationtechniquesandstructuresforgetteringmaterialsinultrasonictransducer...
    • 一种微纳复合结构的超疏水超疏油表面的制备方法与流程
      本发明属于微纳加工,具体涉及一种微纳复合结构的超疏水超疏油的制备方法。超疏水超疏油表面作为一种特殊的润湿性状态,由于其在防腐、自清洁、水油分离、减阻等方面有巨大的应用潜力而获得了广泛的关注。目前制备超疏水的研究比较多,主要的制备方法大多是进行低表面能的化学修饰和基于wenzel或c...
    • 一种微悬臂梁的制备方法与流程
      本发明涉及半导体器件,特别涉及一种微悬臂梁的制备方法。mems技术已经交叉融合了多种学科,涉及到微电子学、机械学、材料学、力学、声学、光学、电子信息等学科。作为一项未来微技术集中发展的方向,是微电子和精密机械加工技术结合的产物。正在向微型化、低成本、轻量化、低能耗、高可靠性、高灵敏...
    • 氧化镁密封腔的制备方法与流程
      本公开大体涉及一种氧化镁密封腔的制备方法。目前,超燃冲压发动机燃烧室温度一般在2000℃左右,航空发动机燃烧室温度超过1700℃,高速飞行器超音速飞行时,表面最高温度超过1500℃,燃气轮机燃烧温度普遍在1350℃以上。在这些极端高温、高压环境下对传感器性能要求也非常严格,其中,决定传感器...
    • 堆叠结构及其制造方法与流程
      本公开涉及一种堆叠结构和一种方法,且涉及一种具有减少的毛刺的堆叠结构和一种用于制造堆叠结构的方法。微机电系统(mems)技术广泛用于便携式通信设备,尤其用于智能电话。mems封装结构可为电子结构提供基础?;すδ?。此外,为改进信号噪声比性能,进一步需要mems封装结构以对环境电磁干扰提供屏蔽...
    • 微机电系统及其制造方法与流程
      本发明的实施例涉及微机电系统及其制造方法。最近已经开发了微机电系统(mems)器件。mems器件包括使用半导体技术制造以形成机械部件和电气部件的器件。mems器件被实现在压力传感器、麦克风、致动器、镜相器、加热器和/或打印机喷嘴中。尽管用于形成mems器件的现有器件和方法通常已经足以满足其...
    • 一种条纹状结构的电热式扭转驱动器的制作方法
      本发明涉及的是一种条纹状结构的电热式扭转驱动器,属于mems应用。mems驱动方式主要分为静电、电磁、电热和压电四种方式,其中静电和电磁被常用于扭转态驱动方式中。电热通常应用于垂直位移,较难运用于扭转态驱动,即使应用于扭转态驱动,其结构也非常复杂。例如,专利文献1、一种微电机系统扭...
    • 一种电热式MEMS扭转驱动器的制作方法
      本发明涉及的是一种电热式mems扭转驱动器,属于mems应用。mems驱动方式主要分为静电、电磁、电热和压电四种方式,其中静电和电磁被常用于扭转态驱动方式中。电热通常应用于垂直位移,较难运用于扭转态驱动,即使应用于扭转态驱动,其结构也非常复杂。例如,专利文献1、一种微电机系统扭转镜...
    • 一种具有热?;すδ艿奈⒌缁蟾堑闹谱鞣椒? width=
      本实用新型涉及微电机领域,尤其涉及的是一种具有热?;すδ艿奈⒌缁蟾?。微电机,全称“微型电动机”,常用于控制系统或传动机械负载中,用于实现机电信号或能量的检测、解析运算、放大、执行或转换等功能。现有技术中,微电机的碳刷在与转子的相对摩擦过程中,往往会造成较高的温升或过大的电流,很容易导致微...
    • 一种Ti纳米管的制作方法
      本实用新型属于微纳加工,具体涉及一种ti纳米管。纳米技术兴起于20世纪80年代末,具有极大的理论和应用价值,纳米材料被称为“21世纪最有前途的材料”,纳米材料通常是指在三维空间中至少有一维的尺度处于纳米尺度范围或由它们作为基本单元构成具有不同于常规材料理化性质的材料。研究表明,ti...
    • 用于碱金属直充的原子气室制作一体化键合装置及方法与流程
      本发明属于微机电系统和量子传感器的原子气室制造,更具体地,涉及用于碱金属直充的原子气室制作一体化键合装置及方法。微机电系统(micro-electro-mechanicalsystem,mems)原子气室是芯片级原子器件的“心脏”,mems原子气室的制作是原子钟、原子磁力计等器件小...
    • 一种超表面的制作方法与流程
      本发明涉及微纳光学结构制备,具体是涉及一种超表面的制作方法。超表面是指一种厚度小于波长的人工层状材料,超表面可视为超材料的二维对应。光学超表面是最常见的一种类型,超表面可以通过表面亚波长的微纳结构实现对电磁波的偏振、相位、振幅、频率、传播模式等特性的调控,是一种光学与纳米科技结合的...
    • 微珠芯片及其制备方法与流程
      本发明涉及生物芯片,具体地说,是一种微珠芯片及其垂直沉降制备方法。相比测序技术而言,高密度生物芯片拥有成本低、检测位点量大、格式统一、分析快等优势。利用生物芯片技术,英国、美国均已建立了大规模人群的基因库。新冠肺炎疫情背景下,欧洲、美国启动了对新冠患者的群体基因组检测,并采用了生物...
    • 微珠芯片及其旋涂制备方法与流程
      本发明涉及生物芯片,具体地说,是一种微珠芯片及其旋涂制备方法。相比测序技术而言,高密度生物芯片拥有成本低、检测位点量大、格式统一、分析快等优势。利用生物芯片技术,英国、美国均已建立了大规模人群的基因库。新冠肺炎疫情背景下,欧洲、美国启动了对新冠患者的群体基因组检测,并采用了生物芯片...
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